上海顺外净化分享半导体车间净化工程施工的要求
1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)

2、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了

3、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa

4、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值

5、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和

6、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3

7、电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施
